凈化車間升級維護

由于空氣潔凈度等級的提升，尤其是從非單向流潔凈室升級為單向流潔凈室或由100000級/10000級潔凈室升級改造為1000級/100級/10級潔凈室時，無論是凈化空調系統的循環風量、工廠潔凈室的平面和空間布置和相關的潔凈技術措施等都有較大的變化，因此潔凈室的升級改造除了前面已敘述的設計原則外還要考慮下述因素。

一、潔凈室的改造，首先要有一個好的改造方案，結合具體工程的實際情況，包括改造的目標和相關的技術參數，原建筑的現狀等，做到技術經濟細致等多個設計方案的比較。特別要指出的是，這種比較必須包括對升級改造后運營成本的比較，尤其要注意對能耗成本的比較。為了完成這項任務，業主應委托具有實踐經驗和相應資質的設計單位進行勘察、咨詢和規劃。

二、潔凈室改造應優先選用各種隔離技術、微環境技術或局部潔凈裝置或層流罩等技術手段，實現高水平生產工藝和設備與低水平潔凈室的分離或整體潔凈度的提高房間內空氣潔凈度達到可行水平，而生產中要求較高的是微環境裝置等工藝和設備采用的技術手段。近年來，許多大規模集成電路工廠在升級潔凈室或新建廠房時，按照100級/1000級單向流潔凈室設計建造了生產廠房，然后根據生產線工藝和設備的高級別潔凈度采用SMIF微環境系統，達到產品生產所需的空氣潔凈度等級，既降低了投資成本，又降低了能耗。也有利于生產線的改造，擴展的要求，具有良好的靈活性.

三、潔凈室改造時，往往需要增加凈化空調系統的循環風量，即增加潔凈室換氣次數或平均風速。因此，需要對凈化空調裝置進行調整或更換，增加高效風口的數量，增加風道的尺寸，增加冷卻（制熱）能力等。在實際工作中，為了降低潔凈室改造的投資成本，使調整變化較小，解決這一問題的唯一途徑是充分了解產品的生產工藝和原有潔凈空調系統的情況，合理劃分潔凈空調系統，結合作者介紹的潔凈室改造原則，充分利用原有系統及其風道，適當增加設置必要的潔凈空調系統，減少改造工作量。